중적외선 램프

  • 할로겐램프 (MIR-Type)

    규격:208V-3000~4000W
    용도:HOT-DI용
    환경:진공,대기

  • 할로겐램프 이중관 (MIR-Type)

    규격:110V~380V(0.5KW~3KW)
    용도:건조,가열,증착
    환경:진공,대기

  • 할로겐램프 (MIR-Type)

    규격:110V~380V(0.5KW~3KW)
    용도:건조,가열,증착
    환경:진공,대기

상세설명

  • 1반도체 세정용 물을 증기화(가열) 시킬때 사용
  • 2중적외선램프의 열을 이용하여 화학약품 증기화 석영관으로 할로겐램프를 보호하여 안정적으로 화학약품을 가열하는데 사용
  • 3RTP, RTA등 급속 열처리 장비에 사용