반도체 장비 램프

  • 할로겐램프 (Round-Type)

    규격:50V~480V(1KW~4.5KW)
    용도:반도체 열처리,증착
    환경:진공

상세설명

  • 1반도체 ALD 박막증착, CVD, PVD 공정에 사용되는 가장 대표적인 형태의 할로겐램프
  • 2국내 장비제조사 생산장비에서 보조 히터로 많이 사용